真空環(huán)境已經(jīng)除去了所有的空氣和氣體。通常，它包含在腔室中并通過(guò)泵完成。如果你在抽真空時(shí)進(jìn)入一個(gè)房間，就必須穿著一套提供氧氣呼吸的套裝，就像太空中的宇航員一樣（太空是一個(gè)巨大的真空）。某些應(yīng)用程序在真空中完成的原因是它是最干凈的環(huán)境。當(dāng)所有空氣，氣體和顆粒被抽出真空室時(shí)，它就變得無(wú)污染。這對(duì)于需要絕對(duì)清潔的應(yīng)用至關(guān)重要，例如半導(dǎo)體制造。

消除空氣和氣體是無(wú)污染良好的開(kāi)端，但在完成應(yīng)用時(shí)，真空室不會(huì)沒(méi)有元件。因此，應(yīng)確保腔室內(nèi)的任何物質(zhì)都不會(huì)造成污染。這在構(gòu)建腔室中使用的儀器的組件時(shí)開(kāi)始，包括模組機(jī)械。模組機(jī)械產(chǎn)品可按真空規(guī)格制造。盡管由于一般的磨損，移動(dòng)部件最終可能會(huì)隨著時(shí)間的推移而顆粒化，但如果考慮到顆粒形成的位置和制造時(shí)的多少，模組機(jī)械仍然可以在真空中使用。此外，如果按照建議進(jìn)行適當(dāng)?shù)念A(yù)防性維護(hù)，污染的可能性將會(huì)降低。